提供研磨液供應系統 (Slurry Supply System) Turn-key服務，具高精準度的劑量控制及勻質混合設計，針對不同Slurry使用適當的度量及供應方法。

系統設計範圍：

• 研磨液供應機台設計與製造
• 儀電工程設計
• 現場工程管路施工

Local Slurry Supply System

應用項目：中小型供應系統，將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台，以滿足各CMP製程之需求，適合新製程研發或量產前期研磨液供應使用。

系統特色：

• 雙Pail搭配雙Mixing/Supply Tank達成供應不中斷之需求。
• H2O2以高精度之獨立磅秤計量，提高混酸精度。
• 具雙混雙供、單混單供之雙重運作模式，增加系統運行效能。
• Load Cell控制混合比例與不同調配需求，並有液位計雙重保護之機制。
• 自動桶槽清洗與全系統自動清洗雙功能，降低維護之人力損耗。
• Filter Auto Flush功能。
• AIC即時檢驗Slurry品質。

Central Slurry Supply System

應用項目：大型中央供應系統，將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台，以滿足各CMP製程之需求，適合量產廠區研磨液供應使用。

系統特色：

• 管路除泡機制
• 優化流體管路設計
• 回流噴嘴增進攪拌效能
• Wet N2 防止桶壁結塊
• 流體 壓力/流量/溫度 即時監測
• pH/SG/AIC 品質監控
• 系統自動安全防護機制
• Load Cell/Flow meter 混比控制模式
• Load cell/Level sensor 桶槽液位雙偵測裝置
• 雙磁浮Pump持續供應壓力與流量平穩之研磨液