提供研磨液供應系統 (Slurry Supply System) Turn-key服務,具高精準度的劑量控制及勻質混合設計,針對不同Slurry使用適當的度量及供應方法。
系統設計範圍:
- 研磨液供應機台設計與製造
- 儀電工程設計
- 現場工程管路施工
Local Slurry Supply System
應用項目:中小型供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合新製程研發或量產前期研磨液供應使用。
系統特色:
- 雙Pail搭配雙Mixing/Supply Tank達成供應不中斷之需求。
- H2O2以高精度之獨立磅秤計量,提高混酸精度。
- 具雙混雙供、單混單供之雙重運作模式,增加系統運行效能。
- Load Cell控制混合比例與不同調配需求,並有液位計雙重保護之機制。
- 自動桶槽清洗與全系統自動清洗雙功能,降低維護之人力損耗。
- Filter Auto Flush功能。
- AIC即時檢驗Slurry品質。
Central Slurry Supply System
應用項目:大型中央供應系統,將研磨液依製程需求精準混製並安全地輸送至CMP製程機台,以滿足各CMP製程之需求,適合量產廠區研磨液供應使用。
系統特色:
- 管路除泡機制
- 優化流體管路設計
- 回流噴嘴增進攪拌效能
- Wet N2 防止桶壁結塊
- 流體 壓力/流量/溫度 即時監測
- pH/SG/AIC 品質監控
- 系統自動安全防護機制
- Load Cell/Flow meter 混比控制模式
- Load cell/Level sensor 桶槽液位雙偵測裝置
- 雙磁浮Pump持續供應壓力與流量平穩之研磨液
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